低針圧測定！さまざまな試料表面を測定するプロファイラーです。【アルバック／ULVAC】
Alpha-Step D-500/D-600 は、さまざまな試料表面の段差(膜厚)、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。 ワイドな垂直測定レンジ、優れた段差測定再現性。観察用カラーカメラ、キーストーン画像補正機能付。 充実した仕様・性能を備えコストパフォーマンスも優れていますので、研究開発から生産まで幅広い用途でお役立ていただけます。 【特徴】 ○ワイドな垂直測定レンジ（最大1200μm） ○優れた段差測定再現性（1σ＝0.5nm/1μm段差） ○低針圧測定（0.03mg ～ 15mg） ○観察用カラーカメラ（4Xデジタルズーム付） ○キーストーン画像補正機能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○型式：Alpha-Step D-500,Alpha-Step D-600 ○測定長さ：30mm,55mm ○サンプルステージ直径：140mm,200mm ○XYステージ移動範囲 →D-500：80×20mm 手動 →D-600：150×178mm 電動プログラマブル ○θステージ：360°手動 ○サンプル厚さ(最大)：20mm,30mm ○サンプル観察：視野3.76×3.12mm､4Xデジタルズーム付､サイドビュー ○段差測定再現性：1σ＝0.5nm (1μm標準試料) ○垂直測定レンジ(最大)：1200μm ○垂直測定分解能(最高)：0.038nm (2.5μmレンジ) ○針圧範囲：0.03～15mg ○触針先端半径：2μmR ○プロファイルデータポイント：120,000 ○自動シーケンス測定：―,20サイト オプション：1,000サイト ○Apex 2D/3D解析 オプション：2D オプション：2D/3D ○ストレス測定：オプション(2Dストレス) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○試料表面の段差(膜厚)、粗さ、うねり(ストレス)、形状の測定等 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。