基材を痛めずに洗浄やコーディング膜の削除を可能とした噴流加工
SIRIUS-Oは、噴流加工技術を搭載した洗浄装置です。 噴流加工とは、弾性体であるメディアを噴射し、スベリながら被加工物に アタックすることで面ダレ・梨地などが発生しない加工技術です。 被加工物へのダメージも無く、コーティング膜のみを落とすことができるので、精密部品の洗浄などに適しています。
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基本情報
◎シリウスは噴流処理後、基板厚みの変化 1μm以下を実証済み （WA#100時 ： 厚み0.53mm→0.55mm（20μm変化） ⇒歪みやワーク変形が原因） ◎面精度も噴流処理前とほとんど変化はみられない （WA#100時 ： 面精度Ra = 0.08→1.8まで落ちる）
価格帯
納期
用途／実績例
噴流加工技術を搭載した精密部品の洗浄
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企業情報
当社は1988年に真空薄膜製造装置の海外輸出商社としてスタートし、今日まで「真空技術のトータルプランナー」として、業容を拡大してまいりました。 この間、光学薄膜材料への展開、さらにはイオンビームプロセスや冷凍機(サップコールド)の販売に力点を置き活動をしてまいりました。 また、新たに次世代のナノ加工分野の重要な技術として期待されている、GCIB（ガスクラスターイオンビーム）プロセス装置を開発し、市場に投入する事になりました。 眼鏡やカメラレンズからスタートして、いまではデジタルカメラや携帯電話、医療用レンズを始め、光関連産業では新しい媒体が続々と生まれています。