XY位置補正でステージインデックス、初期設定、温度などによるコンタクトの累積誤差を解消!
PCP-102SLは、通常のウェハの他に、薄層ウェハの検査を実現するために開発されたプローバです。 カセットからの自動搬送、プリアライメント、ファインアライメント、プロービング(検査)を行います。 【特長】 ■ステージインデックス、初期設定、温度などによるコンタクトの累積誤差を解消します。 ■マルチプロービング検査は、検査工程のスループットを飛躍的に向上させます。 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧ください
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【ラインナップ】 [プローバ] ○PCP-102SL ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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株式会社プラムファイブは、半導体検査装置の設計、製造、販売、システムソフトウエア開発、メンテナンスまで一貫しておこなっております。 半導体検査装置メーカーとして半導体分野に携わるお客様に対し、有益な製品とサービスを提供してまいります。 気象防災システムの開発の提供を通じて、社会の安心・安全に貢献できるシステムを提供してまいります。