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[OBIRCH]光ビーム加熱抵抗変動法

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最終更新日:2026年04月02日

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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OBIRCHは、光を当てることによって発生する欠陥箇所の熱により、抵抗が変化することを利用して、異常箇所の特定を行う手法です

OBIRCHは、光を当てることによって発生する欠陥箇所の熱により、抵抗が変化することを利用して、異常箇所の特定を行う手法です。 ・配線やビア内のボイド・析出物の位置を特定可能。 ・コンタクトの抵抗異常を特定可能。 ・配線ショート箇所を特定可能。 ・DC電流経路を可視化。 ・ゲート酸化膜微小リークを捉えることが可能。

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[OBIRCH]光ビーム加熱抵抗変動法

A0036.jpg
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  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/mst/product/

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基本情報

1.レーザを被観察領域に走査する。レーザ照射された配線部位は温度が上昇し、抵抗が変化する。 2.レーザの走査に同期して電流値(または電圧値)を読み取る。 3.ボイド・析出物等の欠陥は配線正常部とTCRが異なるため、抵抗変化量も異なり特異な電流値(または電圧値)として検出される。

価格情報

-

納期

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用途/実績例

・Siデバイス(トランジスタ・MOSFET・IGBT・CMOSセンサ) ・SiCパワーデバイス(ショットキーバリアダイオード・MOSFETなど) ・GaN発光素子・GaNデバイス(LD・LED・HEMTなど) ・MEMS(圧力センサ・加速度センサ)

詳細情報

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    まずはご相談ください ★分析プランのご提案から行います★ 御社へ伺ってのお打ち合わせも、もちろん可能。 分析結果のご説明も丁寧に行い、疑問を残しません。 まずは03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!

  • セミナー.jpg

    訪問セミナー実施します ★お客様のニーズに合わせた技術者訪問のセミナーを無料で承っております★ お客様のご要望に応じて、分析技術のご紹介や分析データのご説明をいたします。 ◆セミナー内容例 ・MSTの分析手法を広く解説 ・特定の分析手法を原理からじっくり、詳しく解説 ・お客様がご依頼の分析データを解説 03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!

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MSTは、高度な受託分析サービスを提供する財団法人です。 最先端の「物理的解析」と、AI技術を活用した「高度なデータ解析」を融合させることで、従来の分析の枠を超えた多角的な視点を提供し、お客様の高度なニーズに迅速かつ的確にお応えします。 技術知識を兼ね備えた専門スタッフが、お客様の課題に寄り添い、最適な分析プランをオーダーメイドでご提案いたします。オンラインでの打ち合わせはもちろん、貴社への訪問による対面でのご相談も承っております。 また、ISO9001(品質)およびISO27001(情報セキュリティ)を取得しており、機密性の高いプロジェクトにおいても、確かな技術力と厳格な管理体制のもと、安心してお任せいただける環境を整えています。製品開発の加速から不良原因の究明、特許調査まで、研究開発のあらゆるフェーズにおける課題を、確かな分析技術で解決へと導きます。

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