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雰囲気制御&冷却下でのSEM分析

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最終更新日:2026年04月02日

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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雰囲気制御下での処理 クライオ加工 冷却 SEM: 走査電子顕微鏡法他

大気に暴露すると変質してしまうリチウムイオン二次電池材料や、加工・観察時の熱で変質する有機系材料等の試料は、TEM・SEMを用いて本来の構造を観察することが困難でした。 大気暴露することなく(雰囲気制御)FIB付き高分解能SEM装置で観察することで、粒子や電解質等の本来の状態を知ることが出来ます。また冷却にも対応しており、熱による変質も抑えることが可能です。

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雰囲気制御&冷却下でのSEM分析

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