各種デバイス・センサー用膜厚電極としても作成可能なマグネトロンスパッタ装置
ラボテック株式会社 の『LA-S2020』は、 対向平行円板型の2インチマグネトロン方式DCスパッタ装置です。 非導電性試料(サンプル)を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察する際の、 金属(Au/Pt etc)コーティングが可能です。 各種デバイス・センサー用薄膜電極(50nm 以下)の作製が可能なスパッタ装置です。 短時間に簡単な操作で効率の良いグロー放電が得られ粒状性に優れたスパッタ膜が作製可能です。 【特長】 ■簡単な操作 ■高効率 ■低コスト ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【仕様】 ■スパッタ方式：マグネトロンスパッタ方式 ■ターゲット：Au ターゲット(φ48mm)：標準 ■スパッタ時間：0.1～5min(0.1min/step)：デジタルタイマ ■スパッタ圧力：6Pa～15Pa ■排気時間：0.1～999min(0.1min/step)：デジタルタイマ ■ガラスベルジャー：外径φ100(内径φ83)×高さ70Hmm：ガラス製 ■試料台：Φ40mm：標準 ■T/S 間距離：30mm～50mm：標準30mm ■真空ポンプ：直結型2 段式ロータリーポンプ10L/min 以上 ■外観寸法：約290(W)×460(D)×345(H)mm ■装置質量：約15kg(ポンプ含む) ■設置電源：単相AC100V±10％ (50/60Hz) 0.5KVA D 種接地 3P コンセント(1m) ■設置室温/湿度：25±10℃/45～85％以下(結露しないこと) ※本仕様は、性能改善のため予告なく変更されることがあります。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
価格帯
50万円 ~ 100万円
納期
用途／実績例
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企業情報
ラボテック社は1987年設立以来、ESR(電子スピン共鳴装置)用の器具・消耗品・試薬等を販売し、研究開発分野のサポートを微力ながら行って参りました。近年では電子顕微鏡関連周辺機器の販売・開発を行って来ました。ナノテク・バイオ・半導体分野での研究開発に貢献したく真空機器関連(真空蒸着装置・スパッタ装置etc)装置の製品化・販売・サービス業務を行う事で研究分野への『研究の一歩に繋がる製品開発』を理念に信頼・期待される企業となるよう全力を尽くします。