半導体、産業機械、原子力、航空宇宙分野に最適！高性能な化合物“SiC”
SiC（Silicon Carbide ：炭化ケイ素）はシリコン（Si）と炭素（C）が1対1で結合した化合物で、隕石中にわずかに確認されているだけで、天然にはほとんど存在しません。 SiCはセラミックスに分類され、その高硬度、耐酸化性、化学的安定性、耐熱性などの特徴から、古くから研磨剤や耐火材、発熱体などに用いられてきました。近年では半導体素子製造工程で用いられるウェハボートやチューブ、シリコンウェハの代替となるダミーウェハなど、主に高温で使用される治具として広く活用されています。 【特徴】 ○化学的に安定している ○酸化しにくい ○熱に強い ○硬い 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【アドマップのSiC】 ○アドマップではCVD法でSiCを製造している ○CVD法によるSiCは緻密で高純度であるという特徴がある ○アドマップが提供するのはβ-SiCと呼ばれる3C構造のSiC →3C以外はすべてα-SiCに分類される ○SiCは六方晶（2H,4H,6H）、立方晶（3C）、菱面体晶（15R）など 様々な結晶多形を持っている ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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株式会社フェローテックホールディングスは、「装置関連事業」「太陽電池関連事業」「電子デバイス事業」という製品用途と市場分野に応じた３つの事業セグメントで積極的な事業活動を展開しています。新エネルギー産業およびエレクトロニクス産業では、高品質な製品やサービスを提案し、コスト競争力のある製品やサービスを提供しております。また、地球環境に配慮した活動を積極的に推進することを経営上の重要課題の一つとしており、最新の環境規制要求への適応を順次進め、新エネルギー産業で活用できる素材・製品などを開発し、地球環境問題の解決に貢献しています。株式会社フェローテックホールディングスは、コア技術を活用したものづくりを通して社会に貢献し、顧客、株主、社員、取引先、地域社会などステークホールダーの方々が成長する楽しみを持てる企業であり続けます。
