超精密平面検査に最適な高輝度ハロゲン光源装置！驚異的な照明にて0.2μm未満欠陥検出が可能です！
『YP-1501』は、半導体ウエハー及び液晶基盤の加工途中で最も人手が掛かる最終仕上げ面の異物、スクラッチ、研磨ムラ、ヘイズ、スリップ等の様々な欠陥検出を見るためのマイクロ観察用照明装置です。試料表面を400,000Lx以上に照明することができます。また、光源にはハロゲンランプを使用しているため色温度は高く、照明ムラが少なく、非常に安定したシャープな照明となっています。 【特長】 ■光源にハロゲンランプを採用 ■試料表面を400,000Lx以上に照明することが可能 ■熱の影響が従来のアルミミラーの1/3に減少 ■高照度観察、低照度観察をワンタッチで切換えることができる ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
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基本情報
【仕様】 〔ランプハウス部〕 ■照射径：30mmφ ■照度：400,000Lx以上 ■照射距離：140mm ■使用ランプ：ダイクロイックミラー付きランプ ■ランプ型名：JCR15V150W（ウシオ） ■ランプ寿命：35～50時間 ■色温度：3,400K° ■色調：白色 ■環境温度：0~40℃ ■冷却方式：強制ファン冷却 ■接続：12φ据付用シャフト付 ■寸法：100（W）×245（H)×116（D)mm ■重量：約1.7kg 〔電源部〕 ■電源：AC100V 50/60Hzx ■消費電力：約200W ■点灯方式：交流点灯型 ■環境温度：0~40℃ ■冷却方法：自然空冷 ■寸法：140（W)×94（H)×185（D)mm ■重量：約2.4kg ■その他 ・入力コード：2.0m ・出力コード：2.5m ・フットスイッチ ・コード長さ：3.0ｍ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
山田光学工業株式会社は、高精度非球面反射鏡を専門とする光学メーカーです。当社の精密光学素子は、100年にも及ぶ永い伝統と最新鋭の加工技術により生み出されています。当社は、材料の成形から加工、コーティングまで一貫した生産が出来、多種多様な光学素子の製造が可能なため、様々なニーズにお答えすることができます。高精度非球面反射鏡のことならぜひ当社へお任せ下さい。