高い硬度の可変膜厚！ナノフィルムのFCVAテクノロジーによるta-C薄膜
ナノフィルムテクノロジーズ ジャパンのFCVA技術は、優れた均一性と品質を備えたta-C(テトラヘデラル アモルファス カーボン)膜(DLCの上のレベル)を生成することができます。 ta-Cは、sp3結合およびsp2結合の非晶質構造をしており、水素は含みません。 ナノフィルムのFCVAテクノロジーによるta-C薄膜は、sp3結合を約40-85％含みます。 【特長】 ○高い硬度 ○可変膜厚 ○小さい表面エネルギー、優れた密着性、優れた非付着性 ○低い磨耗率、低い摩擦係数（高接触角） ○簡単な剥離性（RIEプロセスによる） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【ta-CとDLCの比較】 ［Properties：DLC／ta-C］ ○Diamond content：～25%／～85% ○Density：～2g/cm³／～3.3g/cm³ ○Hardness：～15GPa／～50GPa ○Wear rate：～8×10⁻⁸mm³/Nm／～1.0×10⁻⁸mm³/Nm ○Frictional coefficient：～0.14／～0.1 ○Critical load：～250mN／～1200mN ○Coating temperature：～200℃／<80℃ ○Working temperature(without O₂)：～600℃／～800℃ ○Typical thickness：～2μm／～1μm ○Coating vacuum：～10⁻²Torr／～10⁻⁵Torr ○Coating species (particle) energy：<5eV／～70eV ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
弊社の開発技術は国際特許を取得し社会的にも大きな役割を担っています。 FCVA方式によるスーパーDLC（水素基フリーのta-C膜）（*2）は、 既存のPVD方式やCVD方式により生成されるDLC膜と比較し全く異なるプロセスで成膜されております。 そのほか金属とプラスチックとの離型性に優れた複合金属膜「Micc膜(*3)」があります。 FCVA方式により生成されるコーティング膜は、現在 ハードディスク産業、 精密機械産業、半導体産業などの分野で急速に採用されており、 今後、自動車産業、ナノインプリト産業や生体材料分野への展開が期待されています。
