異なる成膜ニーズに合致したさまざまなコーティング装置を活用！
株式会社ナノフィルムテクノロジーズ ジャパンは、さまざまなソースおよび完成システムを使用し、異なる成膜ニーズに合致したさまざまな装置を活用することにより、お客様の多様なニーズに応えることができます。 経験豊富な研究開発エンジニアは、多様なアプリケーションの要件を研究し、それに基づいて最適なプロセスを判断します。 また、生産、研究開発、品質管理など社内インフラを整備し、お客様の満足度を最大限に高めるための高品質の成膜サービスのご提供に全力を注いでいます。 【コーティングシステム】 ○FSシリーズ：FCVAソース ○Bシリーズ：Batchシステム ○Lシリーズ：Load/Lockシステム ○Mシリーズ：インラインコーティングシステム 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【FCVA真空成膜装置紹介】 ○大型バッチコーティング装置 →2 sets FCVA carbon source →1 set FCVA metal source →1 set Ion Beam source ○精密金型用コーティング装置 →Load/Lock system →FCVA carbon source →Ion Beam source →HV pulsed DC bias ○超大型コーティング装置 →3 sets FCVA carbon source →2 sets FCVA metal source →1 set Ion Beam source →Chamber dimension 1250mm dia X 1000mm height ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
弊社の開発技術は国際特許を取得し社会的にも大きな役割を担っています。 FCVA方式によるスーパーDLC（水素基フリーのta-C膜）（*2）は、 既存のPVD方式やCVD方式により生成されるDLC膜と比較し全く異なるプロセスで成膜されております。 そのほか金属とプラスチックとの離型性に優れた複合金属膜「Micc膜(*3)」があります。 FCVA方式により生成されるコーティング膜は、現在 ハードディスク産業、 精密機械産業、半導体産業などの分野で急速に採用されており、 今後、自動車産業、ナノインプリト産業や生体材料分野への展開が期待されています。
