ローコストでフォトリソグラフイに必要な機能を完備！マスクアライナー
『実験・研究用マスクアライナー『ES410』は、ローコストながら フォトリソグラフイに必要十分な機能を持ったマスクアライナーです。 ESシリーズならではの幅広いカスタマイズ性を備え、各種ユニットや オプションを選択することで、さらに目的にフィットした装置に セットアップ可能です。 また、ほとんどのユニットが後から追加・変更できるので、 将来のグレードアップにも対応致します。 フルマニュアル機なので各種実験、研究、フォトリソグラフイの学習などに ご使用いただけます。 【特長】 ■ESシリーズならではの幅広いカスタマイズ性 ■各種ユニットやオプションを選択可能 ■目的にフィットした装置にセットアップ可能 ■ほとんどのユニットが後から追加・変更可能 ■将来のグレードアップにも対応 他 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■形式 ・等倍片面露光式マスクアライメント装置 ■露光方式 ・1・1等倍露光 コンタクトおよびプロキシミティ ■適応試料 ・最大φ4インチ 厚さ3mm以内 ・各サイズとも試料台の変更により対応可能 ■固定方式 ・真空吸着式 ■適応マスク ・最大□5インチ 厚さ0．06または0．09インチ ・各サイズともマスクホルダの変更により対応可能 ■固定方式 ・真空吸着式 ■マスクホルダ ・ヒンジ開閉式（メカロック付き） ■アライメント ・マスク固定、ウェハXYZ∂軸ステージ移動 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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