素材に新たな特性を！各種材料による形成のニーズに応える表面処理受託加工
東邦化研株式会社では、イオンプレーティングや真空蒸着に加えて、スパッタやP-CVDによる各種表面処理の受託加工を長年行っております。 試作開発案件から、中・小ロットの生産案件までと、幅広く対応させていただいております。 単金属、酸化物、窒化物、炭化物等、各種材料による薄膜形成のニーズにお応えいたします。 【サービスの特長】 ■試作、小ロットにも対応 ■各種材料に対応 ■仕様・材料・プロセスに合った装置を使い分け ■環境に配慮 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【サービス対象】 [膜種] ■反応性膜：SiO2、Al2O3、TiN、SiC、SiON 等 ■積層膜：Au/Ni/Cr//基板、Au/Pd/Ti//基板、SiO2/Al//基板 等 ■2元蒸着 ：Au-Sn、Ag-Sn、Ni-Cr 等 [基板材質] ■ガラス基材 ■セラミック系、Si-Wf ■金属基材：Al材、Ti材、SUS材など ■樹脂：PI、PC、PETなど 【各種装置】 ■真空蒸着・IP成膜小型機 ・成膜エリア：φ500mm程度 ■真空蒸着・IP成膜中型機 ・成膜エリア：φ500mm×2治具 ■真空蒸着・IP成膜大型機 ・成膜エリア：□800mm程度 ■スパッタ装置 ・成膜エリア：φ300×～t50mm ■P-CVD装置 ・成膜エリア：φ300×～t20mm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
弊社ではイオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる 機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 発足当初より導電性や絶縁性、耐食性など『機能性薄膜』に重点を置き、 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、 試作・開発・研究などの少量から、中小ロットの生産まで、 幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 現在、Φ３００mmサイズの小型機から １０００mm×９００mmの成膜エリアを持つインライン方式の量産機まで 計11台の成膜装置が稼動しております。 なお、お客様からお預かりした基板の開封から成膜品の梱包までの 全工程をクリーンル―ム内で行っております。 機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください！ 柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします！ ※HPに展示会出展情報も記載しております。 ぜひご覧ください。
