高品質なディスク再生を低価格にてご提供するサービス
『イオン注入装置 ディスク再生サービス』は、バリアン、SEN、AMATすべての バッチ式インプラディスクのフル再生、ヒートシンク再生ディスク修理、 Finger、Restraint等の部品販売も承るCore Systems社のサービスです。 ハイカレント・高エネルギーイオン注入装置バッチ式エンドステーション ディスクは、長時間にわたるイオン照射によりウェハへのパーティクル付着、 元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能力低下やウェハ脱着の 不具合といった、管理上見過ごすことの出来ない問題が発生します。 部品洗浄やエラストマー交換を始めとするディスク再生を定期的に実施し、 これらの問題を未然に防ぐ必要があります。 高品質なディスク再生を低価格にてご提供いたします。 【特長】 ■各メーカーのイオン注入装置に対応 ■OEM仕様同等以上のウェハインターフェースをご提供 ■新品パーツ購入よりも、格段に低価格でご提供 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【対応装置】 ■Varian － XP，E1000，VIISion，Kestrel ■SEN/Axeclis －NV10（フルリングクランプ，２点クランプ，クランプレス） －GSD（初期Superdiskから300mmまでの全種、Classic，UHD，VSDを含むディスク） ■AMAT －9200，9500，xr，xrLEAP，Quantum II/III ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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企業情報
半導体製造装置、検査装置、半導体製造装置用コンポーネントの国内外への販売、技術サポート、デバイス製造におけるコストダウンを提供する技術商社です。
