高精度な表裏分離を可能にした基盤検査装置
『自動搬送型透明基盤検査装置』は、YGK（山梨技術工房）のガラス基板 表面検査装置／サファイア表面検査装置です。 透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応しています。 センサ自動焦点機構で、高精度な表裏分離を可能にしています。 対応基板サイズは、最大200mm×200mmです。 200mm以上をご希望の場合は、ご相談下さい。 【特長】 ■自動搬送 ■高精度な表裏分離 ■高性能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【仕様】 ■対応基板サイズ：最大200mm×200mm(200mm以上の場合要相談) ■スキャン方式：X-Yスキャン／Θ-Xスキャン(螺旋スキャン) ■スループット：□200mmを約4分／Φ200mmを約3分(高速スキャン対応可) ■ワーク設置：搬送ロボット(裏面吸着／エッジクランプ) ■装置外形寸法：W1,800mm×D1,230mm×H2,151mm ■本体重量：約1,000kg ■消費電力：約1.5kW(100V) ■検査対象基板：石英ガラス基板、サファイア基板、SiC基板、 エビ膜付きSiC基板等 ■最小検出感度：石英ガラス基板時、0.2μm ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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納期
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企業情報
半導体製造装置、検査装置、半導体製造装置用コンポーネントの国内外への販売、技術サポート、デバイス製造におけるコストダウンを提供する技術商社です。