状況変化が見える!劣化の診断に新たな可能性が!内部の状態が非破壊で分かる!
『Tera Prospector』は、汎用性を重視し、広い試料室空間を確保した、 非破壊で製品の内部検査が出来るテラヘルツ分光装置です。 本製品は、光と電波の境界領域という、今までとは異なる電磁波の帯域を 取り扱う新しい分光装置で、電磁パルスの電場強度の時間波形を計測する ことで、電場強度と共に位相情報も同時に計測します。 また、イファレンスとサンプルでの時間波形の違いを解析することにより、 サンプルに複素誘電率(複素屈折率)の周波数依存性を得ることが出来ます。 【特長】 ■非破壊で内部検査 ■汎用性重視 ■広い試料室空間を確保 ■付属光学系の導入を実現 ■多様性・拡張性・柔軟性・容易性に優れる ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■測定方式:THz-TDS (Time-Domain Spectroscopy) ■計測信号:電場強度の時間波形 ■出力データ ・透過/反射スペクトル(オプション) ・複素屈折率 ・複素誘電率(解析プログラム使用) ■試料室光学配置 ・透過光学系配置 (付属光学系(オプション)により、反射測定、ATR測定など汎用測定が可能) (クライオスタットを用いた温度可変計測も可能) ■サンプル室容量 ・200(W)×360(D)×200(H) mm ・約14L ■測定帯域:40GHz~4THz以上(カットオフ周波数) ■周波数分解:7GHz以下 ■ダイナミックレンジ:50dB以上(パワースペクトル:最大値) ■信号対雑音比:2500:1以上(パワースペクトル:最大値) ■フェムト秒パルスレーザ ・オプション(外部からの導入可能) ・中心波長:780~800nm付近 ・パルス幅:100fs以下 ・強度:0.5nJ/pulse以上 ・繰り返し:40MHz以上 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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納期
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日邦プレシジョン株式会社は半導体製造装置及び検査装置、周辺自動化装置の設計製造を目的にスタートし、この分野での技術力は高い評価を受けてきました。 以後、ここで培った技術やノウハウを赤外分光計、赤外顕微鏡等理化学関連機器の分野にも応用しています。 現在では、コンピュータ応用自動検査システムを始めFA、搬送ロボット及び、制御装置等先進のメカトロニクス製品の設計・製造等広範な分野で着実に成果をあげ、半導体や液晶の製造プロセスの一翼を担う技術集団として、お客様の信頼を確かなものとしてまいりました。 そしてこの度、急速に変化する事業環境変化に即応し、競争力を強化するため、既存二つの工場棟に加え新たに新棟を再建設・完成させ、操業を開始しました。 各種半導体製造装置の増産を始め、次世代大型液晶パネル製造装置及び薄膜太陽電池用CVD製造装置の製造にも対応可能です。 お客様の多様なニーズにお応えするための新たな歩みを開始いたしました。