広範囲レンジ対応の非接触（渦電流法）シート抵抗/抵抗率 多点測定器
『NC-80MAP』は、複数タイプの非接触プローブによる広範囲レンジ対応の 抵抗測定器です。 搭載するプローブ数およびプローブタイプはご要望により、変更可能です。 エッジ8mmからの多点測定も可能です。 また、非接触の渦電流方式のため、ダメージを与えずに測定できます。 お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。 【特長】 ■非接触式 ■セミオートタイプ ■多点測定システム ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【測定仕様】 ■測定対象 ・半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど） ・新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、 銀ナノワイヤーなど） ・導電性薄膜関連（メタル、ITOなど） ・シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル ・化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど） ・その他（※お問い合わせください） ■測定サイズ：2～8インチ（オプション：12インチ） ■測定範囲 ・抵抗率：1m～200Ω・cm（全プローブタイプの合計範囲/厚さ500μmの 場合） ・シート抵抗：10m～3kΩ/sq（全プローブタイプの合計範囲） ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。
