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非接触式 抵抗測定器『EC-80』

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最終更新日:2016年09月05日

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コンパクトで簡単操作の手動式非接触(渦電流法)抵抗測定器

『EC-80』は、プローブ間にサンプルを入れるだけで測定可能な、簡易 測定器です。 抵抗率/シート抵抗測定モードを簡単に切り替え出来ます。 また、JOGダイアルによる簡単な測定条件設定可能です。 プローブ固定式のため、ご購入の前に数タイプのプローブから1タイプを 選択となります。 お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。 【特長】 ■非接触式 ■マニュアルタイプ ■1点測定システム ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

    半導体・ICその他 計測・測定機器
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非接触式 抵抗測定器『EC-80』

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【測定仕様】 ■測定対象  ・半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)  ・新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、   銀ナノワイヤーなど)  ・導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)  ・シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル  ・化合物半導体関連(GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど)  ・その他(※お問い合わせください) ■測定サイズ:~8インチ、または~156×156mm ■測定範囲  ・抵抗率:1m~200Ω/cm(全プローブタイプの合計範囲/厚さ500μmの   場合)  ・シート抵抗:10m~3kΩ/sq(全プローブタイプの合計範囲) ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

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抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。

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