コンパクトで簡単操作の手動式非接触（渦電流法）抵抗測定器
『EC-80』は、プローブ間にサンプルを入れるだけで測定可能な、簡易 測定器です。 抵抗率/シート抵抗測定モードを簡単に切り替え出来ます。 また、JOGダイアルによる簡単な測定条件設定可能です。 プローブ固定式のため、ご購入の前に数タイプのプローブから1タイプを 選択となります。 お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。 【特長】 ■非接触式 ■マニュアルタイプ ■1点測定システム ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【測定仕様】 ■測定対象 ・半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど） ・新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、 銀ナノワイヤーなど） ・導電性薄膜関連（メタル、ITOなど） ・シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル ・化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど） ・その他（※お問い合わせください） ■測定サイズ：～8インチ、または～156×156mm ■測定範囲 ・抵抗率：1m～200Ω/cm（全プローブタイプの合計範囲/厚さ500μmの 場合） ・シート抵抗：10m～3kΩ/sq（全プローブタイプの合計範囲） ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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用途／実績例
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抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。