ウエハフラットネス測定システム！
『FLA-200』は、非接触式のフラットネス・厚さ測定システムです。 ウエハサンプルのフラットネス(TTV、BOW、WARP)、厚さを測定します。 厚さ、TTV、BOW、Warp、サイトフラットネス、グローバルフラットネス の測定に対応 （ASTM準拠）しており、CSVファイルでのデータ出力も可能 です。 また、お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。 【特長】 ■2-D,3-Dマッピング表示対応のソフトウエア ■5mmφコア静電容量式プローブによる、高精度測定 ■12,000点スキャン/60秒以内の高速測定 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【測定仕様】 ■測定対象 ・半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど） ・シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル ・化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど） ■測定サイズ ・3～8インチ ■測定範囲 ・Thickness: 200 –1200μm ・Bow : +/-350μm ・Warp: 350μm ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。