抵抗率・厚み測定器 【EC-80SCAN】
ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。 抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。 その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。
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基本情報
【面内直線上をスキャン測定可能な、非接触 抵抗率/厚さ測定器】 ◆抵抗率・厚さセンサーを搭載し、１度に２種類の測定データ表示可能なので、太陽電池シリコンウエハの測定に最適 ◆抵抗率・厚さ測定は１点測定の他に、面内直線上を測定し、グラフ表示可能な『スキャン測定モード』を搭載 ◆エアーフローティングステージにより、ウエハ取扱いが容易 ◆測定データ保存、パソコンへテキストファイル送信可能（RS-232C） ◆JOGダイヤルによる簡単な測定条件設定 ●対象ウエハサイズ：[円形ウエハ]3インチ〜8インチ、[角形ウエハ]50〜156mm(SQまたはPSQ)まで対応 （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい
価格情報
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納期
用途／実績例
太陽電池シリコンウエハ
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抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。
