カスタマイズ可能な拡がり抵抗測定器
『SRS-2010』は、2探針法の拡がり抵抗測定システムです。 試料の深さ方向の抵抗率分布、エピタキシャル層の厚さ、PN接合の深さ、 キャリア濃度分布を求めることが可能です。 数mm角の領域から、数百μm程度のパターン領域の分析ができます。 測定した拡がり抵抗から、較正曲線を用いて低効率を算出します。 お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。 【特長】 ■2探針法 ■パターン領域の分析が可能 ■抵抗率を算出 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【測定仕様】 ■測定対象：半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど） ■測定サイズ：お問い合わせください ■測定範囲 ・1～10E+9(Ω) [拡がり抵抗] ・印加電圧：10(mV)検出電流：10(pA)～10(mA) ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。
