真空チャンバー内での位置決め用途に サブミクロン分解能で位置決め 可動範囲最大100mm
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、サブミクロン分解能（0.1μm or 0.05μm）の再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは20mm～100mmまでラインアップ。 位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。 ■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
■ステージ 最小分解能：100nm or 50nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～100mm 最大移動速度：2mm/sec 対応真空度：10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：100nm or 50nm 最大動作速度設定値：100mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
価格帯
納期
用途／実績例
微細な位置決めを必要とする様々な分野。 X線を利用した研究分野 半導体分野
ラインアップ（9）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FS-1050X(V) | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、50mmストロークの真空対応ステージ |
| FS-1040X(V) | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、40mmストロークの真空対応ステージ |
| FS-1020X(V) | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、20mmストロークの真空対応ステージ |
| FC-411 | サブミクロン分解能ステージを50nm分解能で制御するコントローラ |
| FC-111 | サブミクロン分解能ステージを100nm分解能で制御するステージ |
| FS-1100X(V) | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、100mmストロークの真空対応ステージ |
| FS-1005Z(V) | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、5mmストロークで昇降動作する真空対応ステージ |
| FS-1010Z(V) | 100nm or 50nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、10mmストロークで昇降動作する真空対応ステージ |
| FS-1120θ(V) | 0.0001° or 0.00005分解能（内蔵スケール読み取り値）、±4°ストロークの微小回転動作をする真空対応ステージ |
カタログ（3）
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企業情報
シグマ光機グループは、グローバルブランド『OptoSigma』の名の下、国内外のマーケットに対して 「光ソリューション・カンパニー」としての使命、そして「感謝」「挑戦」「創出」の気持ちを胸に、 さらに積極的に事業を展開し継続的な成長を果たすべく全社一丸となって挑戦してまいります。 今後とも、真の「ものづくり」を追求するシグマ光機グループに、皆様のご理解とご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。
