高真空対応！互換性も高い位置決めテーブル
当製品は、真空対応の位置決めテーブルです。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、お客様の要望に沿った 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。 また、VTシリーズは各メーカー市販のステージ（大気用）と同等サイズ バリエーションと互換性も高く、貴社既存の大気仕様装置を設計変更を することなく、低放出ガス仕様や真空対応化することも可能です。 【特長】 ■高真空（1×10-5pa程度）対応 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせて最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【主な仕様】 ■外形サイズ：W188×L188×H38[mm] ■テーブルサイズ：125×125[mm] ■移動量：25[mm] XY軸共 ■駆動：5相ステッピングモータ ■ガイド：クロスローラガイド ■質量：3.0［kg］ ■主材質：アルミ合金 ■表面処理：特殊Niめっき ■耐荷重：2.0[kg] ■繰り返し位置決め精度：±50[μm] ■ヨーイング・ピッチング：30[arcsec] ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
〜当社は”ものづくり”にこだわり、自社の技術力を養い向上 それを活用し、また専門分野・得意分野を持った企業間を結び、 新たなものを創造していくことを目的に活動しています〜
