ウェーハサイズ6インチ対応！簡単操作でウェーハを移送可能！
『TMUJ-05』は、簡単な操作でウェーハをカセットから別のカセットへ移送 することができるウェーハ移し替え器です。 ウェーハを持ちあげて移送するので、薄型ウェーハでも傷つけることなく 移し替えができます。 また、2ヶ所のネジを緩めると高さ調整が可能です。 【特長】 ■底抜けなしタイプも対応 ■操作が簡単 ■ウェーハにやさしい ■表裏反転移送 ■カセットの双方向かたの移載が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■カセットを保持している材料にはMCナイロンで静電対策材料を使用 ■クリンルームに最適 ■製品載せアームは接触面積を考慮した構造 ■外観カバーはオールステンレス製でヘアーライン素材を使用 ■帯電防止対策としてクリップ付きアースケーブルを付属 ■省スペース型 ■動く部分は安全性を考慮しカバーリング ■動く機構には摩擦による発塵がないよう鋼球を使用したガイドレール・ リニアモーションペアリングなどを使用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体製造工程の中間ハンドリング用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
サンワハイテックは、お客様のアイデアをカタチにするモノづくり集団です！ 半導体製造装置やエレキの機械設計・加工・シーケンス制御や品質管理・技術者人材派遣までトータル的にサポートします。 ＷＥＢサイトでは、ご参考資料として、機械設計や受託製造で制作した、半導体製造装置やエレキ・治工具などの開発品などご紹介しております。 貴社のアイデアをお気軽にお問合わせくださいませ。