ガラスの表面をフッ化水素などの薬品で腐食！
『ガラスエッチング』は、ガラスの表面をフッ化水素などの薬品で 腐食させ、溝や段彫り加工などを施す加工技術です。 基板材として、石英や、BK7などのホウ珪酸ガラスを使用。 また、フォトリソなとでパターニングされたメタル薄膜をマスクとして 使用するので、高精度のパターンが形成可能です。 【特長】 ■基板材として、石英や、BK7などのホウ珪酸ガラスを使用 ■フォトリソなとでパターニングされたメタル薄膜をマスクとして使用 ■高精度のパターンが形成可能 ■深さ方向の寸法制御が可能 ■表面は比較的滑らかに仕上がる ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【用途】 ■流路 ■スタンパー（インプリント用ガラス板） ■印刷用版 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
【用途】 ■流路 ■スタンパー（インプリント用ガラス板） ■印刷用版 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
フォトプレシジョン株式会社は、フォトファブリケーションを中心的技術として、マイクロエレクトロニクス製品や光学製品をはじめとする様々な分野での試作・開発に貢献する会社です。 次世代産業の基幹製品と期待されているMEMS(Micro Electro Mechanical System)・バイオチップ・マイクロ化学チップ等は、ナノテクノロジー・三次元マイクロマシーニング・高密度三次元実装・三次元フォトリソグラフィー等の技術を複合的に応用して形作られます。フォトファブリケーションは、これらの技術すべてに深くかかわっており、MEMS開発の基礎技術となっています。 私たちは、お客様からのご助力を賜りながら、常に技術的な研鑽に努めると共に、可能な限り高度な設備を導入し、お客様の多岐にわたるご要望にお応えしたいと考えています。
