数百nm〜数十μmの粒子を摩擦帯電により分散、均一に散布する、散布装置です。帯電量フィードバック制御で安定した散布を実現します。
液晶パネル製造におけるスペーサ散布工程のドライ散布技術を発展させた、ナノ粒子にも対応可能な粒子の分散・散布装置です。 散布時の帯電量を元にしたフィードバック制御により、散布量の制御を行います。ノズルは固定式のマルチプレクサーノズルを使用し、ノズルを動かすことなく、各方向へ均一に粒子を散布します。また、壁面への高電圧を印加することで、粒子の壁面付着を抑え、粒子の利用効率を改善するとともに、大きなサイズのワークにおいても均一な分散性能を確保します。 100〜200mm角程度の研究開発用途からG6サイズ等の量産装置まで対応します。（クラスタークリーナー、検査装置などを組合せたインライン装置のご提案・製造も対応可能です。） 20〜30μmなどの大粒径スペーサーの散布、調光ガラス、スマートガラスなどのプロセスにも対応可能。粒子の入手などについてもご相談ください。 ※詳しくはお問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
卓上型 乾式散布装置 δ−1（デルタワン） 基本構成 １ 散布チャンバー チャンバー ✕ 1式 高圧ユニット ✕ 1式（※オプション） 調整範囲 ±1〜10kv ２ 秤量ユニット 秤量器 ✕ 1式 ホッパー ✕ 1式（粒子収容器） エアー機器 ✕ 1式 操作パネル ✕ 1式 制御部 ✕ 1式 コントロールボード内蔵 ３ 粒子圧送用SUS配管 （増幅部・帯電センサー付）
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■液晶ディスプレイ材料用 試作装置 ■各種粒子の分散・散布（100nm〜） ■アルミナ・シリカ・各粒子の散布 ■粒子の積層コーティング ■粒子の定量散布 ■建築用液晶ガラス向け製造 ■調光ガラス・スマートガラスなどの研究開発・製造
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
株式会社テクニカルフィットでは、お客様のご要望・ご予算に合わせ、各種洗浄装置、粒子・スペーサーの散布・分散装置、静電気除去装置、検査装置をご提案いたします。液晶・半導体・自動車・食品・医療関係など業種を問わず、ご相談ください。