快適な操作性にこだわったマニュアルプローバー！光学系は3種から選択可能！
『αシリーズ』は、快適な操作性で評価・解析の幅広いニーズに対応する マニュアルプローバーです。 ステージや光学系は複数の種類から選択可能。 前明きの形でウエハーのロード・アンロードも容易に行えます。 レバーの操作で3段アクションのZドライブが可能。 位置合わせはウエハーから約300μm針を離して行うため、 顕微鏡の焦点からはずれずにステージが移動できます。 【特長】 ■選べるステージ/光学系 ■Zは3段階切り替え ■ステージ移動が簡単 ■確実なアライメント ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
【ステージ/光学系】 ■ステージ 実装基板ホルダー ホットチャック サーモチャック ノーマルチャック フィルム用チャック 樹脂製チャック 等 ■光学系 金属顕微鏡（レーザー対応） ズームマイクロ 実体顕微鏡 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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用途／実績例
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企業情報
半導体デバイスのオンウエハー（ウエーハ）測定に使用するプローブカード、マニュアルプローバー・ホットチャックを販売をしています。特に高周波（RF）、微小電流（低リーク）、高温（耐熱）測定向けの製品を提供しています。 ご相談・ご質問等、どうぞお気楽にお問い合わせくださいませ。