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最終更新日:2024年10月18日

ICM株式会社
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最高使用温度280℃に対応!炉内クリーン度クラス100のオーブン

「クリーンオーブン」は、最高使用温度280℃に対応した、 炉内クリーン度クラス100のオーブンです。 高精度な温度分布を実現した「ボックス型クリーンオーブン」と、IR炉にも 対応可能な「枚葉多段型クリーンオーブン」の2タイプをご用意しております。 当製品は、LCD(液晶ディスプレイ)・アレイカラーフィルターなどの 工程における乾燥、焼成、硬化に最適です。 【特長】 ■最高使用温度280℃に対応 ■炉内クリーン度クラス100 ■優れた湿度分布 ■ロボット使用による複数オーブン対応可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『クリーンオーブン』

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基本情報

【仕様】 ■対応サイズ(枚葉実績) ・最小 約200mm角 ・最大 約2000mm角 ■加熱方式 ・熱風循環方式 ・遠赤外線(IR)方式 ・ホットプレート(HP)方式 ■冷却方式 ・コールドプレート(CP)方式 ・空冷方式 他 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【適用分野】 ■LCD(液晶ディスプレイ)・アレイカラーフィルターなどの工程における乾燥、焼成、硬化 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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株式会社今井製作所は1957年創立以来、液晶ディスプレイや有機EL用などの基板洗浄装置やクリーンオーブンなどの製造を行ってまいりました。2013年には旧瀬戸技研工業株式会社の一部業務を譲り受け、新たな事業として展開。2014年には各種ハンドリングおよび搬送システムの取り扱いを開始し、お客様のご要望に基づく最適な装置を開発設計、製造しております。

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