粉塵環境・結露に強い！3kWのプラズマ励起用マイクロ波発振器
低出力リップル、RoHS対応、Made in Japan で 高品質、サポートも安心です。 基板アッシング装置で多数の導入事例あり。 あなたの携帯電話もこの発振器で作られている、かもしれませんよ。 【特長】 ■低出力リップルで、安定したプラズマを生成します。 ■電源部、発振部はセパレートで、レイアウトの自由度が高いです。 ■細かい仕様変更等にも極力対応させていただきます。 ■Made in Japan ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ≪電源部 MPS-30W-DC-CE≫ ■入力電源：三相190V～220V 50/60Hz ■入力容量：7KVA以下 ■出力安定度：190V～220Vの入力変動に対し、±2％以内（3kW 出力時） ≪発振部 MG-30CJ-W-CE / MG-30CT-W-CE≫ ■発振周波数：2455MHz±20MHz ■出力電力定格：500W～3000W 連続可変 ※マッチング負荷 ■冷却方式：水冷（4L/分以上、水温30℃以下、水圧6.9×10 ５Pa以下） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
仕様により異なりますので、お問い合わせ下さい。
納期
※仕様により異なりますので、お問い合わせ下さい。
用途／実績例
基板アッシング装置で多数の導入事例あり。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社のコア技術である"マイクロ波"は、長年培った専門的な知識とノウハウを保有しており、お客様のご要望に沿ったオール自社開発ならではの価値ある商品とサービスをご提供いたします。 近年、生産性向上と品質向上が当社の強みで加熱、乾燥、化学反応等、多くの業界から採用頂いております。 技術のご相談やお見積りなど、お気軽にお問い合わせください。