ナノメートルオーダーの薄膜の熱物性測定が可能な唯一の装置
薄膜熱物性測定装置NanoTR･PicoTRは、金属薄膜や酸化物薄膜、有機薄膜などの熱物性値を高精度に測定する世界初の薄膜熱物性測定装置です。 【特長】 ■厚さ数10nm～数μmの薄膜の熱拡散率や熱浸透率、界面熱抵抗の測定が可能 ■RF方式とFF方式の両方の方式を搭載しており、基盤の種類を問わず測定可能 ■SIトレーサブルな装置で、JIS R 1689, JIS R 1690に準拠 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【技術仕様】 ■Pump Laser ・パルス幅：1ns ・波長：1550 nm ・ビーム径：100 μm ■Probe Laser ・パルス幅：連続 ・波長：785 nm ・ビーム径：50 μm ■測定項目：熱拡散率、熱浸透率、熱伝導率、界面熱抵抗 ■測定時間：約60秒 ■試料（RF法） ・樹脂：30 nm ～ 2 μm ・セラミックス3：00 nm ～ 5 μm ・金属：1 μm ～ 20 μm ■重量約：40 kg ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【アプリケーション】 ■半導体・メモリストレージ ■金属・セラミック複合材料 ■LEDエレクトロニクス ■熱電材料太陽・燃料電池 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ネッチジャパン株式会社は、熱分析・熱物性測定装置の世界トップシェアを誇るネッチ社の日本法人として2012年9月にブルカーブランドの熱分析装置を事業取得して設立いたしました。ハイエンド品から高性能・低価格の幅広いラインナップにより、研究開発から品質管理まで幅広いお客様のニーズにお応えいたします。