新コーティング技術で、センサ寿命3倍！最大45％のコストダウンを実現！
今回新たに、米国CONAX社が開発した新技術“EtchDefender”を採用し、 ウエハの異物付着の低減、失透速度、浸食速度のスロー化などにより、 従来のセンサーの最大3倍にまで寿命延ばすことが可能となりました！ “EtchDefender”は数年間にわたり、大学の研究機関、大手ウエハメーカーの 製造設備にて、検証を繰り返して達成した信頼性のある技術です。 この新しいコーティング技術によって、センサーの寿命を延ばし、 35～45％もの大幅なコストダウンを実現することができます。 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
【EtchDefender (エッチディフェンダー)の特長】 ■ウエハへの異物付着の低減 石英への付着性がよく、ウェハへの異物の汚染原因となる、石英管の表面剥離などの心配がありません。 ■耐久性 真空高温下でも、腐食やアウトガスがありません。 ■失透速度のスロー化 900℃以上の高温環境下のエピ装置内での、石英シースの失透を劇的に遅らせます。 ■浸食速度のスロー化 石英管に、高濃度で吹き付けてくる腐食性ガスによる浸食を抑えます。特にセンターTCのロングライフ化に貢献しています。 ■ロングライフ このコーティング技術は、センサーの寿命を、最大3倍までを延ばすことが可能です。 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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企業情報
真空・高圧容器から熱電対線、リード線、パイプ、光ファイバ線の取出し口をシールするセンサシール、コネクタ。 注射液、化粧・食品液体を充てんするセラミック製充てんポンプ。テクニカルセラミックチューブ。打錠機用杵・臼。温度データロガー。電磁波測定・解析などソフトの技術も紹介しています。
