【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバックステージ】で高分解能に位置決めができる。
[新型フィードバックステージコントローラの特長] 従来品との互換性を残しつつ、 ・通信コマンド数の増加 ・ティーチング機能追加 ・USBインターフェース追加 ・パラメータ数増加 などの追加により。多機能になりフィードバックステージの状態把握や細かなパラメータを設定することができます。 [高分解能位置決め装置の特長] フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラで構成されています。 フィードバックステージ内蔵のリニアエンコーダで検出する位置情報をもとにフィードバック制御するため高分解能かつ高い再現性が得られます。 [導入メリット] ・高い位置決め再現性による作業効率の向上 ・高分解能動作による微調整が可能 ・長い可動範囲による、試料の移動と微調整が1つのフィードバックステージで可能 詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードください。 □ステージ選定に役立つQ&A集を下記のリンクから無料ダウンロードできます。□
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基本情報
○1nm分解能位置決め装置 分解能：1nm（内蔵エンコーダの読取値に対して） 最大移動速度：5mm/s（FC-911コントローラ使用時） 可動範囲：20mm～50mm ○10nm分解能位置決め装置 分解能：10nm（内蔵エンコーダの読取値に対して） 最大移動速度：10mm/s（一部ステージを除く） 可動範囲：20～200mm/s
価格帯
納期
用途／実績例
フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 例）MEMSの検査時の位置決め 光学系のディレイステージ 顕微鏡ステージ
ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FS-1020UPX | 1nm分解能位置決めステージ、20mm可動範囲、リニアエンコーダ内蔵 |
| FC-911 | 1nm分解能位置決めステージコントローラ、モータードライバー内蔵、フィードバック制御、 |
| FS-1050PX | 10nm分解能位置決めステージ |
| FC-511 | 10nm分解能位置決めステージコントローラ |
カタログ（6）
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企業情報
シグマ光機グループは、グローバルブランド『OptoSigma』の名の下、国内外のマーケットに対して 「光ソリューション・カンパニー」としての使命、そして「感謝」「挑戦」「創出」の気持ちを胸に、 さらに積極的に事業を展開し継続的な成長を果たすべく全社一丸となって挑戦してまいります。 今後とも、真の「ものづくり」を追求するシグマ光機グループに、皆様のご理解とご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。
