微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能！溶液を使用せずに洗浄や改質ができ、良環境性と低ランニングコストを実現
バレルタイププラズマ処理装置「ＰＢシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去（Ashing）や油分の除去（Cleaning）、珪素化合物（ＳｉＯ2，ＳｉＮ）のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液（Ｗｅt）を使用すること無く行える装置です。良環境性（クリーンな作業環境、無廃液）と低ランニングコストを実現します。 全方向から処理が進行し、対象物の形状に問わず、ナノレベルの処理、洗浄、改質の効果を発揮します。 【装置特徴】 ■サンプル形状を選ばない自由な処理（円筒形処理室／等方性プラズマ） ■多様なプロセス：Ａｓｈｉｎｇ（洗浄）、Ｅｔｃｈｉｎｇ、表面改質等 ■部品は全てクリーンルーム対応（半導体製造装置として使用可能） ■廉価、小フットプリント設計 ■量産装置としてお使い頂ける安全仕様 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【装置仕様】 ○装置フットプリント：幅６５０×奥行８００×高さ１２６０ ○処理室：φ３００×Ｌ４５０石英チャンバー ○高周波発振器：１３．５６ＭＨｚ／５００Ｗ ○処理ガス：処理ガス２系統マスフロー制御 ○真空排気：ドライポンプ ○制御：オート／マニュアル操作マイコン制御 ○安全仕様：非常停止スイッチ、各インターロック ○ユーテイリテイー：電源、処理ガス、ＤｒｙＡｉｒ、Ｎ2、冷却水 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 電子部品、粉体、金型、医療分野等で様々なニーズにお応えします。 ・レジストアッシング、Si02、SiN等のエッチング ・バンプ前処理／UBMメッキ前処理 ／リードフレーム洗浄 ・金属、樹脂等の表面改質（親水化／撥水化／還元）および洗浄（有機物除去） ・滅菌 ●詳しくはお問い合わせください。
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企業情報
プラズマ・真空関連装置を中心に、洗浄装置、マテハン他、多分野において、多種多様なニーズに対応します。自社製品以外でも、OEM等、装置製造受託もフレキシブルに対応します。 プラズマ処理については、電子、医療他の多分野において、他企業や大学との共同研究開発を実施。受託処理のみも受付中。 設計等メーカーポジションを活かし、工場内の設備保守委託や装置メーカー様からの保守メンテナンス委託、既存設備の移設、中古設備リファブまで、自他社製問わず各種装置の保守メンテナンスをお請けします。
