帯電により粒子を分散させ、オリジナルの固定式ノズルによるワークへの均一散布を行う、手動型の乾式散布装置です。
卓上型スペーサ散布装置「型式：XDS-Mini」は、卓上型の手動スペーサ散布装置です。 電子天秤で秤量した乾式スペーサをエジェクター用テーブル上に移し、エジェクターを手で動かすことにより、スペーサを吸引し、チャンバー内に置かれたガラス基板上にスペーサを定量散布します。
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基本情報
【散布手順】 1. 電子天秤等で計量したスペーサを散布台に乗せ、手動で散布配管へ吸い上げます。 2. スペーサは散布配管との摩擦により帯電・分散します。 3. チャンバー内へ散布される前にマルチプレクサノズルから吐出する各方向へのN2によりワークへ分散散布します。 4. オプションの高圧電源ユニットで散布チャンバー内へ高電圧を印加することによりスペーサの使用効率と分布の改善、チャンバー内壁へのスペーサ付着を低減させます。 【仕様】 〇ユーティリティ：1. Ｎ2 500L/min（散布時のみ一時的に使用） 2. 排気 φ50 3. 電源 AC100V（オプションの高圧電源使用時） 〇参考サイズ：1. チャンバーサイズ H850mm x W500mm x D550mm 2. ワークサイズ 150mm x 150mm ～ ●詳しくはお問合せ、またはカタログをダウンロードしてください。
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当社は創業1972年以来、ディスプレイに携わる技術者・研究者を支援してきました。事業根幹である各種ガラス基板及び世界標準のEHCセルを国内外へ製造・販売しています。近年、多様な金属成膜基板及び高精細パターンガラス基板の要求が強まっています。周辺装置として客先仕様の小型液晶パネル組立装置やウェットプロセス装置、さらに有機EL・有機太陽電池の測定検査装置などを専用システムとして、あるいは簡易冶具等も含めて提供しています。