シリコン半導体・SiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高温、真空、腐食性ガス雰囲気中などで優れた性能を発揮。
パイロリティックボロンナイトライド（PBN）やタンタルカーバイドは高い耐熱性や耐腐食性を有し、 急速昇降温・超高温を容易に実現できるセラミックスです。 PBNは色々な形状に蒸着製造または加工が可能。 超高温ヒータや高温静電チャック、グラファイト保護コーティングもございます。 PBN機能部品は有機ELの製造プロセス、半導体単結晶成長プロセス、 その他の高温真空プロセスなどの改善に貢献します。 【特長】 ■12インチウェハ（300mmウェハ）にも対応 ■超高真空・高温（1700℃※）条件で使用できる ■高温下でも高い電気絶縁性を維持できる ■靭性があるため割れにくい ■化学的に安定 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
※社内テストによる実績です。
価格帯
納期
用途／実績例
高性能ヒータおよび静電チャック 用途 ・急速昇降温によるウェハ熱処理 ・窒化物半導体の成膜 ・PVD （スパッタ、MBE、蒸着など） ・イオン注入 ・ガラス加熱 ・真空中での高温加熱 PBN(超高純度窒化ホウ素)部品 用途 ・真空蒸着用ルツボ ・結晶成長用ルツボ ・反応・焼成用容器 ・高温での電気絶縁部品 ・高温腐食性雰囲気での部品 グラファイト保護コーティング 用途 ・超高温用ヒータ ・窒化物半導体成膜用部品 ・ウェハトレイ ・高温用歯車 ・SiC半導体結晶成長および成膜用部品
カタログ（5）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社は、高熱伝導ヒートシンク、ヒータ/静電チャック、セラミックス製品、耐腐食/耐熱コーティングの開発、製造、販売を行っています。また、石英製品やシリコーン製品なども多数取り扱っております。ご用命の際には、お気軽にお問い合わせ下さい。