高速なクリーンテクノロジーで、多種多様化する洗浄ニーズにお応えします！
『スピン洗浄装置』は、島田テクノロジー株式会社が取り扱っている製品です。 「水とエア」を中心とした環境配慮型洗浄を採用。全周型排気カップ構造による 高効率排気も実現しています。 また、多彩な洗浄ツールによる高歩留まりを実現。さらに、ウェーハ型・角型基板に 対応したハンドリング、幅広いサイズに対応したユニットラインアップを ご用意しています。 【特長】 ■高性能化で省エネに貢献 ■多彩な洗浄ツールによる高歩留まりを実現 ■多彩なサイズ・基板にもマッチ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ■研磨後洗浄、CMP後洗浄 ■成膜前洗浄、蒸着前洗浄 ■結合前洗浄 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
洗浄装置の相談は島田テクノロジーへ。 豊富な洗浄技術・多彩な洗浄ツールで歩留まり改善、品質向上にお役に立ちます。 既存装置の修理・改造から新規装置の製造販売まで何でもご相談下さい。お客様の用途に合わせてカスタムメイド致します。 洗浄工程の提案、簡単な洗浄テストも行います。
