各種SPMシステムの校正やSPMプローブの評価。測定の標準サンプルとしても好適。
AFM・SPM校正用の基準サンプルです。御用途に合わせて最適なものを選択できます。 ・X軸、Y軸、Z軸較正 ・ノンリニアリティ検出 ・横方向、垂直方向のノンリニアリティの検出 ・角変形の検出 ・tip 形状のパラメーター（アスペクト比、曲率半径）、tipの劣化、コンタミネーションコントロールの決定。 ・ヒステリシス、クリープ、クロスカップリング効果の検出 ・tip特性 ・スキャニングtipの3-D視覚化 ・tipのアスペクト比の決定 ・X軸またはY軸でのサブミクロン単位での較正 SPM測定の練習用、学生実験用などにもご使用頂けます。
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基本情報
■TGZ1、TGZ2、TGZ3 Z軸の較正およびノンリニアリティの検出に使用する、長さのある凹凸が繰り返されたグレーティング。 ■TGG1 マイクロメーター単位の平行な稜線が並んだ、グレーティング。 ■TGQ1 X軸、Y軸、Z軸較正およびノンリニアリティ測定用のグレーティング ■TGT1 使用するカンチレバーのtip形状のパラメーターを検討するためのグレーティング ■TGX1 横方向較正およびノンリニアリティ測定用の、四角柱の縁下を鋭く切り取ったものをアレイしたグレーティング ■TDG01 X軸またはY軸でのサブミクロン単位での較正用のグレーティング
価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
用途／実績例
■走査型プローブ顕微鏡の校正作業 ■SPM測定の練習用サンプル ■学生実験
ラインアップ（8）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TGZ1 | シリコンウェーハ上のSiO2層の上に形成した、ステップ高21.6nm(typical)の1軸形状の校正サンプル。【用途】Z軸較正、ノンリニアリティ検出 |
| TGZ2 | シリコンウェーハ上のSiO2層の上に形成した、ステップ高107nm(typical)の1軸形状の校正サンプル。【用途】Z軸較正、ノンリニアリティ検出 |
| TGZ3 | シリコンウェーハ上のSiO2層の上に形成した、ステップ高560nm(typical)の1軸形状の校正サンプル。【用途】Z軸較正、ノンリニアリティ検出 |
| TGG1 | シリコンウェハ上に形成した、正確な直線と角度サイズを持つ三角形ステップを持つ1軸形状の校正サンプル。【用途】・X軸またはY軸の較正、横方向・垂直方向のノンリニアリティの検出、角変形の検出、tip特性 |
| TGQ1 | シリコンウェハ上に形成した、小さな正方形の3-Dアレイを持つ校正サンプル。【用途】・X・Y・Z方向の同時較正、横方向較正・横方向ノンリニアリティの検出、ヒステリシス、クリープ、クロスカップリング効果の検出 |
| TGT1 | シリコンウェハ上に形成した、シャープなティップのアレイを持つ校正サンプル。【用途】スキャニングtipの3-D視覚化、tip 形状のパラメーター（アスペクト比、曲率半径）、tipの劣化、コンタミネーションコントロールの決定。 |
| TGX1 | 横方向較正およびノンリニアリティ測定用の、四角柱の縁下を鋭く切り取ったものをアレイしたグレーティング。【用途】横方向較正、横方向ノンリニアリティの検出、ヒステリシス、クリープ、クロスカップリング効果の検出、tipのアスペクト比の決定 |
| TDG01 | ガラスフェーハ上に形成した、カルコゲナイドガラス層上に1軸形状の平行な稜線を作製した校正サンプル。【用途】X軸またはY軸でのサブミクロン単位での較正 |
企業情報
分光を主体とした、光源から分光器、検出器さらに当社独自のレーザー計測システム、分析装置、フェムト秒レーザー加工など最先端機器を得意とする技術集団です。