幅広い溶剤に使えるオールフッ素樹脂製
φ2~φ8インチの各種サイズに適用する縦置きウエハー洗浄治具。すべてフッ素樹脂(PTFE)製のため、酸・アルカリ問わず幅広い溶剤に使用できます。ワークサイズ、セット数の変更、持ち手長の変更など特注仕様にも対応します。
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基本情報
○材質:フッ素樹脂(PTFE) ○セット方向:縦置き ○セット数:5枚または10枚 ○持ち手長:150mm(標準)
価格情報
数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
納期
~ 1ヶ月
用途/実績例
シリコンウェハやメタルマスクの洗浄
ラインアップ(8)
型番 | 概要 |
---|---|
WJ-V305 | ●対応サイズ:φ3インチ ●セット数:5枚 |
WJ-V310 | ●対応サイズ:φ3インチ ●セット数:10枚 |
WJ-V405 | ●対応サイズ:φ4インチ ●セット数:5枚 |
WJ-V410 | ●対応サイズ:φ4インチ ●セット数:10枚 |
WJ-V605 | ●対応サイズ:φ6インチ ●セット数:5枚 |
WJ-V610 | ●対応サイズ:φ6インチ ●セット数:10枚 |
WJ-V805 | ●対応サイズ:φ8インチ ●セット数:5枚 |
WJ-V810 | ●対応サイズ:φ8インチ ●セット数:10枚 |
企業情報
株式会社テクノファインでは、真空成膜プロセス装置をはじめとする半導体製造装置、プラズマ対応基板ステージ、分析装置など、お客さまのニーズに応じた装置の仕様提案、設計、製造をおこなっております。