4連続転写が可能！3種類のナノインプリント機能を備えたナノインプリンター
明昌機工の『NM-0401』は、半導体集積回路線幅のナノレベルを、 簡易かつ低コストで上げる為に開発された、ナノインプリント装置です。 熱インプリント、室温インプリント、光インプリントの3種類の ナノインプリント機能を備えています。 インプリントに欠かせない温度、圧力の条件を自由に設定可能。 ステップ&リピートによる4回連続転写が可能です。 【特長】 ■フレキシブル条件設定 ■ステップ&リピート機能搭載 ■3種類のナノインプリント機能 ・熱インプリント ・室温インプリント ・光インプリント ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■装置構成：装置本体(クリーンルーム対応)・冷却水循環装置 ■基板サイズ ・モールド：φ2インチ以下 ・試料基板：φ4インチ以下 ■基板温度調整範囲：20～200℃ ■ステップ&リピート：X,Y方向±15mm ■外径寸法（mm）： ・本体装置：630W×922D×1670H ・冷却水循環装置：340W×394D×851H ■重量： ・装置本体：約160kg ・冷却水循環装置：約40kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、メカトロニクスの最新技術を駆使し、品質の継続的改善に努めることにより、顧客の要求・信頼に応える。又、地球環境と地域社会に調和し、持続可能な事業活動を推進するため、継続的な環境保全活動に取り組む。
