メタルマスクや蒸着装置の内部部品などに付着した有機EL材料を容易に洗浄!
『OEL Clean シリーズ』は、低分子型有機ELの蒸着工程で用いた、有機EL材料が付着したメタルマスクなどを容易に洗浄することができます。 本薬液はマスク洗浄に限らず、蒸着装置内部で用いる部品洗浄にも使用することができます。 【特徴】 ■マスクに付着した低分子有機EL材料の除去能力に優れる ■低温、短時間での洗浄が可能 ■エポキシ樹脂やNi、Fe、Fe-Niなどの材料へのダメージがない ■蒸留再生装置との組み合わせにより、低ランニングコストで使用可能 ※詳細は弊社HP又は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
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基本情報
<ラインナップ> ■OEL Clean-01 リンス液:HFE* 蒸留再生:可 ■OEL Clean-03 リンス液:HFE* 蒸留再生:可 *HFE:Hydrofluoroether □詳しくはPDF資料や弊社HPをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途/実績例
<適用分野・使用用途例> 有機ELマスク洗浄用途など
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私達は先端規格をクリアするだけでなく、それ以上の水準の高純度試薬を開発・製造するオンリーワンメーカーであることを目指してきました。 また、試薬だけでなく、半導体製造プロセス用の超高純度薬品の規格も、世界に先駆け私達が制定し、現在では世界中の半導体産業に不可欠な機能性薬品においてトップシェアを獲得しています。