フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ
大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケーションの排気およびベント用バルブ -過酷な環境にも対応（腐食に対しての高い耐性）します。 -穴の開いたシリンダーが回転するため、フルコンダクタンスが可能です。 -O-リングがバルブボディに隠れる回転構造。腐食性ガスからO-リングを守り、長寿命を実現します！
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基本情報
特長 1. 開および閉位置での機械的なロックです 2. パーティクル発生が少ない 3. 金属と金属が擦れないため、Oリングで摩擦がほとんど起きません 4. 可動部品がありません
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用途／実績例
プラズマCVDチャンバーのクリーニングのため、NF3ガスを使用する環境の場合: 1. ボディ材質のアルミニウムはNF3ガスに対して優れた耐食性を示します 2. 真空部分にあたるゲート取付けネジ/ワッシャー/シャフトは、プロセスの安定性を更に向上させるためNi-PTFEのコーティングがなされている 3. プロセスによっては他のシール材の使用を推奨しています（FKMの代わりにFFKMなど）
ラインアップ（18）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 25024-KA14 | リミットスイッチなし |
| 25028-KA14 | リミットスイッチなし |
| 25032-KA14 | リミットスイッチなし |
| 25024-KA24 | リミットスイッチ付き |
| 25028-KA24 | リミットスイッチ付き |
| 25032-KA24 | リミットスイッチ付き |
| 25124-KA14 | リミットスイッチなし |
| 25128-KA14 | リミットスイッチなし |
| 25132-KA14 | リミットスイッチなし |
| 25124-KA24 | リミットスイッチ付き |
| 25128-KA24 | リミットスイッチ付き |
| 25132-KA24 | リミットスイッチ付き |
| 25224-EA14 | リミットスイッチなし |
| 25228-EA14 | リミットスイッチなし |
| 25232-EA14 | リミットスイッチなし |
| 25224-EA24 | リミットスイッチ付き |
| 25228-EA24 | リミットスイッチ付き |
| 25232-EA24 | リミットスイッチ付き |
カタログ（1）
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。
