1μmの剛性・送り精度・直進性を兼ね備えたアクチュエータ
本製品は、高精度な微小直動送りが必要とされる光学機器のレンズ・ ミラー移動、微小角度調整や半導体製造装置のアライメントステージ X・Y・θ軸調整部などに用いられる直動アクチュエータです。 ガイド部には非開放型ローラ式ガイド「ミリオンガイド」の活用と 独自構造の開発により、サブミクロン単位での超高精度微小送りと 高速送りの両立化を実現。 お客様の要望に合わせてストロークの長短・スケールフィードバック・ モータの変更などのカスタム対応も行っております。 【特長】 ■小型化 ■高速化 ■超高精度微小送り ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【製品仕様例】 ■型式：GMA2010M ■取付角：20×20mm ■有効ストローク：10mm ■送り速度：10mm/sec（モーター600min-1時） ■質量：約0.25kg ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■ステッパー等各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微少角度調整 ■アライメントステージのX・Y・θ軸の調整 ■カメラ、センサーの位置調整 ■顕微鏡、望遠鏡のレンズ、ミラー調整 ■テーブルの位置決め ■半導体、液晶製造装置 ■各種自動機、試験装置 等 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
アイセルグループの原点は、1968年の創業以来、自動車や液晶、半導体など 多岐に渡る分野の産業設備や産業設備用部品の製造・販売に携わっているアイセル株式会社にあります。 アイセルグループは2010年以降、次第にグループ企業を増やしていき 現在、グループ会社を含め国内に11拠点・国外6拠点で構成されています。