高アスペクトTGV/ TSVに対応可能。ALD用として世界最大チャンバーサイズ（1000mm□）
【特徴】 ・バブリングH2O/Ar及びHighDencityPlasmaを使用したOHラジカル酸化 ・緻密でcovaregeの良好な膜形成緻密で均質、かつ均一の厚みの膜が形成可能 ・ほとんどの金属酸化膜に対応可能 ・どのような基板（材質、平坦性、形状等々）でも密着性良く成膜可能 ・用途に応じた膜厚の制御が可能 ・室温で成膜可能 【応用例】 ・大面積対応可能 ・TGV/防湿膜 【成膜のご相談やテスト成膜可能です】 クリエイティブコーティングスでは、テスト成膜やサンプル作成を承っております。 お客様のご要望を聞きし、適した装置、膜種や膜厚のご提案も可能です。 まずはお気軽にご相談ください。 ++++++++++++++++++++++++++++++ 時代と環境が求める次世代の気相技術を提供します。 半導体向け低温(室温)ALD装置と粉体低温(室温)ALD成膜装置の二刀流技術で技術革新に貢献します。
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基本情報
【チャンバーサイズ】 □1000mm 【成膜スペック】 ・有機物等へ成膜の場合 ワーク種：ウェハ、金属（SUS、アルミ、銅など）、樹脂・フィルム他 ワークサイズ：一辺100mm程度であれば形状を問いません ・磁性粉体や全固体電池、金属微粒子等粉体へ成膜の場合 ワーク種：磁性粉体、全固体電池（硫化物系、酸化物系）、金属微粒子他 ワークサイズ：ф100mm以上あれば形状を問いません 【適応膜】 SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、、ZrO₂、HfO₂等 ※自社設計＆装置製造のため、チャンバーサイズや成膜スペック等ご相談可能です。お気軽にご連絡ください。
価格帯
納期
用途／実績例
【PETボトルコーティング活用例】 ■アルコール飲料の封入 ・ビール、ワインの軽量化・ロングライフ化 ■医薬・化粧品封入 ・容器自体の低コスト化 ・PETならではの意匠性・透明性 ・酸アルカリ封入 ■燃料封入 ・軽量小型燃料電池 ・フレキシブル燃料タンク 【その他アプリケーション例】 ■医療機器 ・樹脂カテーテル ・微侵襲生体センサ（血糖値） ・人工物への生体親和性付与 ・インプラント ・人口骨など ■塗装下地処理（表面改質） ・携帯用フレキシブル基板 ・異種部品混在基板の塗装 ・接着剤密着促進 ■金属配管部品の防蝕コート ・機械部品 ・配管部品 ■高機能トナー用コート
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 低温(室温)ALD装置 CMVA-500 | チャンバーサイズ:□500mm、各種粉体（より量産に即した成膜）、高アスペクトTGV/TSVに成膜可能 |
| 低温(室温)ALD装置 CMVA-300 | チャンバーサイズ:□300mm、各種粉体成膜可能、高アスペクトTGV/TSVに成膜可能、R&D使用に最適 |
カタログ（2）
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企業情報
カーボンニュートラル実現に向けたキーテクノロジーの1つである次世代電池、さまざまな機能を持ったナノスケールの機能性粒子、５G・６G通信システムや環境対応車の普及、先進運転支援システム (ADAS)の進歩を背景に超小型化・高信頼性が求められるMLCCをはじめとする受動部品、DXによる質の高い医療、AI・デジタル化の進む医療機器など、社会のあらゆる分野で我々のコーティング技術に期待が集まっています。