独自のレーザー応用技術とセンサー・画像処理技術！シリコンウェーハ専用装置
『RXWシリーズ』は、独自のレーザー応用技術とセンサー・画像処理技術を 駆使した、シリコンウェーハ専用のエッジ欠陥検査装置です。 ウェーハ製造およびデバイス製造の各プロセスにおいて要求される エッジ近傍領域の多様な欠陥検査・寸法測定・自動選別の要求に応えます。 デバイス製造プロセス対応の「RXW-1200D」や、「RXW-1200F」などを ラインアップしています。 【搭載機能】 ＜RXW-1200D＞ ■ライセンサによる全周画像取得とADC機能 ■高感度検査を可能にする暗視野切換え機能 ■EBR後のボーダー測定機能 ■CIS/TSVプロセスでのエッジトリミング・貼合せ・シニング後の検査・測定 ■高倍率AFカラーカメラによるADR機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■装置寸法：W1,612×D3,030×H2,260mm (突起部除く) ■重量：約1,250kg ■電源：200V±5% 単相 40A 50/60Hz ■ドライエアー：圧力 600Kpa以上、流量 20L/min以上 ■真空：圧力 -80Kpa以上、流量 60L/min以上 ■LAN：RJ-45コネクター ■出力・通信：GEN300/E84 I/F /KLARF出力/SEM Connect ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社オプティマは、半導体ウェーハ検査装置・測定装置の販売を行っている会社です。主に半導体検査装置・産業機械・中古装置・マクロ検査、製造装置・研磨装置・洗浄装置などを取り扱っております。お客様のご要望にお答えいたしますので、お気軽にお問い合わせください。