優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ
-ショックフリーなL字動作 -パーティクルフリー、バイブレーションフリーな動作 -保有コストが低い
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基本情報
開口サイズ: 81 × 800 mm～250 × 3000 mm (3.19“ × 31.50“～9.84“ × 118.11“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ゲート材質: アルミニウム シール技術: L-VAT リーク量: ゲート（閉方向） < 1 x 10-7 mbar ls-1（Δp at gate = 0.1 MPa） ゲートにかけ得る許容最大差圧 バルブ閉方向: ≤ 1 bar バルブ開方向: ≤ 5 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 百万回 開/閉時間: ≤ 2.5 s
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用途／実績例
FPDおよびPV製造装置用
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。