コンパクトな真空封止用バルブ
-バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない -ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 -分解、クリーニング後の調整不要
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基本情報
サイズ: DN 200-550mm (8“ – 22“) アクチュエータ 圧空作動式: 単動シリンダー 、閉動作はスプリング（NC） 3位置圧空作動式: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC） ボディ材質: アルミニウム 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、ASA-LP、JIS リーク量 バルブボディ、バルブシート: < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲: 1 × 10-8 mbar ～ 1.2 bar (abs) プレートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 1.2 bar バルブを開けるときの許容最大差圧 DN 200: ≤ 10 mbar DN 250-500: ≤ 5 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 200,000 加熱および冷却速度: ≤ 30 °C h-1 軸シール: 回転軸シール 電磁弁: 24 V DC、5.4 W（その他はお問い合わせ下さい）
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用途／実績例
高真空アプリケーション用
ラインアップ（18）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 16236-PA21/JA21/TA21 | DN63 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16240-PA21/JA21/TA21 | DN100 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16244-PA21/JA21/TA21 | DN160 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16246-PA21/JA21/TA21 | DN200 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16248-PA21/JA21/TA21 | DN250 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16250-PA21/JA21/TA21 | DN320 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16251-JA21/TA21 | DN350 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16252-PA21/JA21/TA21 | DN400 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16254-PA21/JA21/TA21 | DN500 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16236-PA28/JA28/TA28 | DN63 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16240-PA28/JA28/TA28 | DN100 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16244-PA28/JA28/TA28 | DN160 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16246-PA28/JA28/TA28 | DN200 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16248-PA28/JA28/TA28 | DN250 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16250-PA28/JA28/TA28 | DN320 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16251-JA28/TA28 | DN350 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16252-PA28/JA28/TA28 | DN400 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 16254-PA28/JA28/TA28 | DN500 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。