高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ
-アングルおよびインラインボディ -ベローズ軸シール -大きな差圧対応 -長いサイクルライフ
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基本情報
リーク量 バルブボディ、バルブシート: < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲 DN 10-50: 1 × 10-8 mbar～ 5 bar (abs) DN 63-80: ～4 bar (abs) DN 100-160: ～2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧 バルブ開方向 DN 10-50: ≤ 2.0 bar DN 63-160: ≤ 1.2 bar バルブ閉方向 DN 10-50: ≤ 5.0 bar DN 63-80: ≤ 4.0 bar DN 100-160: ≤ 2.0 bar バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤ 1 bar 第一回サービスまでのサイクル数 手動アクチュエータ DN 10-80: 10,000 DN 100-160: 10,000 開/閉スプリング DN 10-80: 三百万回 DN 100-160: 百万回 複動シリンダー DN 100-160: 百万回 軸シール: ベローズ 取付け方向: 自由
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用途／実績例
高真空アプリケーションの排気、ベント用
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。