＜高精度・高速性・高剛性＞大気、真空用あらゆるサイズの仕様を取り揃えております！
当カタログは、半導体ウェハー及びガラス基板搬送用ロボットの専門メーカー株式会社アイテックの製品カタログです。 「ウエハー真空搬送ロボット(～450mm)」をはじめ、「GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代)」や、 「GLASS大気搬送ロボット(～G4世代)」などを掲載しております。 【掲載内容】 ■ウエハー真空搬送ロボット(～450mm) ■ウエハー大気搬送ロボット(～450mm) ■GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代) ■GLASS真空搬送ロボット(G5.5-G8.5世代) ■GLASS大気搬送ロボット(～G4世代) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社アイテックは、半導体・液晶ガラス基板製造用搬送装置、 クリーンロボット等の開発、製造、販売を行っております。 大気、真空用あらゆるサイズの仕様を取り揃えています。 特に大型化の進むガラス基板用ロボット(第2～8.5世代)に対応が可能で 高精度と高速性、そして高剛性を特長としております。