ウェハ上のキズなどの欠陥を検出するための外観検査装置です。
ソフトウェアを用いたレシピ編集で検査プロセスを自由に作成することが できるので目的に合わせた効率的な検査を実行できます。
ウェハローダー
ソフトウェアを用いたレシピ編集で検査プロセスを自由に作成することが できるので目的に合わせた効率的な検査を実行できます。
ソフトウェアを用いたレシピ編集で検査プロセスを自由に作成することが できるので目的に合わせた効率的な検査を実行できます。
ソフトウェアを用いたレシピ編集で検査プロセスを自由に作成することが できるので目的に合わせた効率的な検査を実行できます。
ご要望をお伺いし、最適なソリューションで対応させて頂きます。