パーツを樹脂製から金属製に変更し、フッ素樹脂コーティングによる被覆を提案！
半導体製造関連への開発・解決事例のご紹介です。 半導体製造装置を構成するパーツの耐薬品性や高純度性を目的として フッ素樹脂成型品を採用していますが、機械強度が要求されるパーツには、 フッ素樹脂単体の成型品が採用出来ませんでした。 そこで当社は、パーツを樹脂製から金属製に変更し、その金属製パーツに 耐薬品性及び高純度性に優れているフッ素樹脂コーティングによる被覆を 提案しました。 【課題】 ■用途：半導体製造関連 ■機械強度が要求されるパーツには、フッ素樹脂単体の成型品が採用出来ない ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【提案】 ■パーツを樹脂製から金属製に変更し、その金属製パーツに耐薬品性及び 高純度性に優れているフッ素樹脂コーティングによる被覆を提案 ＜当社のフッ素樹脂コーティングを採用することによるメリット＞ ・金属製パーツの採用が可能になり、機械強度が確保出来る ・耐薬品性が確保され、腐食雰囲気による装置の劣化が防止出来る ・高純度性が確保され、金属イオン溶出による装置汚染が防止出来る ・撥水性が確保され、薬液の残液や汚染物質の付着が軽減出来る ※耐薬品性及び高純度性は、半導体製造プロセスにより諸条件が異なりますので、 ご相談の上、フッ素樹脂コーティングの仕様を選定させて頂きます。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【実績】 ■半導体洗浄装置 ■CMP装置 ■レジスト塗布乾燥装置 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
日本フッソテクノコート株式会社は、フッ素コーティング、テフロンコーティングを主としており、 高度なフッ素樹脂加工の技術を持つ会社です。 お客様の課題をハイスピードで解決し、そして更なるお客様の御要望に お応えすることのできる技術力、研究・開発能力を兼ね備えております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
